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      歡迎光臨精藝興業(yè)~
      
                    
                    
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      產(chǎn)品目錄
      
                    
                
      
                
      
                    
      
                        
      安徽貝意克前端預(yù)熱法硫化鉬制備設(shè)備
      
                        
                    
      
                    
      
                        
      
                            
      
                            
      
                                
       
      品名： 安徽貝意克前端預(yù)熱法硫化鉬制備設(shè)備
      
                                                                        
      型號(hào)： BTF-1200C-400C
      
                                    
                                
      
                            
      
                        
      
                        
      
                            
        
                                
      • 產(chǎn)品詳情
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      • 規(guī)格參數(shù)
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      　　主要特點(diǎn)
      　　前端配有可加熱到400℃的預(yù)加熱器，輔助硫粉蒸發(fā)，后端為雙溫區(qū)硫化爐，溫度控制精確，操作簡(jiǎn)便。并配有氣氛微調(diào)裝置，可以準(zhǔn)確的反應(yīng)腔體內(nèi)部的氣體壓力，帶刻度的調(diào)節(jié)閥對(duì)于做低壓CVD非常實(shí)用，重復(fù)性好。
       

      
                                
      技術(shù)參數(shù)
      硫粉預(yù)熱器
       
      型號(hào)：BTF-400C
      工作溫度：350℃
      **溫度：400℃
      *快升溫速率：30℃/min
      推薦升溫速率：10℃/min
      控溫方式：智能化30段可編程控制
      工作電壓：AC220 V
      額定功率：800W
      控溫精度：±1℃
      加熱元件：電阻絲
      硫化爐
      技術(shù)參數(shù)
      額定功率(KW)：3
      額定電壓(V)：AC220v  50/60 Hz
      **溫度(℃)：1200（1 hour）
      持續(xù)工作溫度(℃）：1100
      升溫速率（℃/min）：≤50
      爐管尺寸（mm）：高純石英管Φ50×1200mm
      加熱區(qū)長(zhǎng)度（mm）：440mm
      恒溫區(qū)長(zhǎng)度（mm）：200mm  
      控溫方式：模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報(bào)警功能
      控溫精度(℃)：±1
      加熱元件：電阻絲
      供氣系統(tǒng)GMF-3Z
       
      （質(zhì)子流量計(jì)）
      重量：35Kg
      外形尺寸：600x600x650mm
      連接頭類型：雙卡套不銹鋼接頭。
      標(biāo)準(zhǔn)量程（N2)：50sccm、200sccm、500sccm； （可根據(jù)用戶要求定制）
      準(zhǔn)確度：±1.5%
      線性：±0.5～1.5%
      重復(fù)精度：±0.2%
      響應(yīng)時(shí)間：氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec
      工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa
      **壓力：3MPa
      接口：Φ6,1/4''
      顯示：4位數(shù)字顯示
      工作環(huán)境溫度：5~45高純氣體             
      內(nèi)外雙拋不銹鋼管：Φ6
      壓力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格
      截止閥：Φ6
      低真空機(jī)組VAU-02
       
      空氣相對(duì)濕度≤85%，
      工作電電壓：220V±10%  50~60HZ 
      功率：1千瓦
      抽氣速率：4L\s
      極限真空：4X10-2Pa
      實(shí)驗(yàn)真空度：1.0X10-1Pa
      容油量：1.1L
      進(jìn)氣口口徑：KF25
      排氣口口徑：KF25
      轉(zhuǎn)速：1450rpm
      噪音：50dB
      外型尺寸：600×600×600mm


      
                            
      
                        
      
                    
      
                
      
            
      
            



        
      
    


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