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      產品目錄

      貝意克磁力拉桿式硫化鉬制備CVD設備

      品名: 貝意克磁力拉桿式硫化鉬制備CVD設備
      型號: BTF-1200C-CVD 磁力拉桿
      • 產品詳情
      • 規格參數

      此設備特點是將硫粉放于左端冷區,當硫化過程開始時利用拉桿式將硫粉推進熱場。控制電路選用模糊PID程控技術,具有控溫精度高,溫沖幅度小,性能可靠,簡單易操作。同樣也適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結等實驗。

      技術參數

      拉桿式硫化鉬制備設備

      爐管尺寸:

      外徑Φ25/50/60/80/100*1000mm(可選)

      極限溫度:

      1200℃

      工作溫度:

      ≤1100 ℃

      溫度控制器:

      PID自動控制晶閘管(可控硅)輸出功率, 30段可編程控制器

      升溫速率:

      ≤50℃/min

      加熱區:

      200+200mm

      恒溫區:

      100+100mm

      控溫精度:

      ±1 ℃

      電源:

      單相220V,交流50Hz

      3路質量流量供氣系統

      (觸摸屏控制)

      拉桿式硫化鉬制備設備

      **電壓:

      185~245V/50Hz

      **輸出功率:

      18W

      流量計標準量程:

      100 ,200,500SCCM

      (非特殊指定以氮氣標定,量程可選定)

      工作溫度:

      5~45 oC

      工作壓差:

      0.1~0.5 MPa

      **壓力:

      3MPa

      準確度:

      ±1.5% FS 

      低真空系統

      拉桿式硫化鉬制備設備

      抽速:

      8.11 m3/h

      極限總壓:

      3×10-3 mabr

      進排氣口:

      DN 25 KF

      噪音

      (氣鎮開關時,距離1米處測量)

      54 dB

      注油量:

      0.7- 1.1 L

      重量:

      21 Kg

      工作溫度:

      10~40 ℃

      功率:

      550W


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